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真空熱處理爐（燒入、燒結(jié)、燒鈍）
| 類型Ⅰ 內(nèi)碳 | 類型Ⅱ 內(nèi)金屬 | 類型Ⅲ 外熱 | |
| 型式 | VHF-Ⅰ© | VHF-Ⅰ(M) | VHF-E |
| 加熱溫度域 | 超高溫、高溫（1）、高溫（2）700～2300℃ | 超高溫、高溫（1)1000～2300℃ | 高溫（1）、高溫（2）700～1600℃ |
| 硬質(zhì)碳 | 金屬加熱棒（鎢 鉬 炭化珪素） | 金屬加熱棒 | |
| 容器材質(zhì) | 不銹鋼：SUS304 (水冷） | 不銹鋼：SUS304（水冷） | 爐芯管材：鋁管（～1600℃） 石英管（～1200℃） |
溫度領(lǐng)域と構(gòu)成
| 分 類 | 加熱溫度 | 制御センサ | ヒータ材質(zhì) （加熱方式） |
| 超高溫 | 1400～2300℃ | 放射溫度計 | 碳加熱棒 金屬加熱棒(W、Mo）*1 |
| 高溫1 | 1000～1500℃ | 白金—ロジューム熱電対 （S型、R型、B型） | 碳加熱棒 金屬加熱棒(Mo、SiC）*1 |
| 高溫2 | 700～1100℃ | クロメルーアルメル熱電対 （K型） | カンタル線ヒータ |
壓力領(lǐng)域（真空度）と真空ポンプ
| 壓力（Pa) | 真空 |
| 大氣～3.0 | 油旋片泵 |
| 大氣～10 | 干式泵 |
| 1000～0.4 | 羅茨泵＋油旋片泵 |
| 3～1×10 -3 | 擴散泵＋油旋片泵 |
| 200～2×10 -5 | 渦輪分子泵+干泵 渦輪分子泵+油旋片泵 |
| 40～10 -7 | 冷凍泵+抽水機 冷凍泵+油旋片泵 |
